Цивилизация
Передовые технологии в литографии разрабатывают специалисты голландской компании ASML, — там смогли достигнуть разрешения 13 нм. Пока это самые передовые результаты в этой области, рассказал «Газете.Ru» главный разработчик прорывного отечественного литографа, создаваемого с участием научной кооперации Национального центра физики и математики (НЦФМ), заведующий отделом многослойной рентгеновской оптики Института физики микроструктур (ИФМ) РАН Николай Чхало.
«Сейчас в ASML разрабатывают машину, разрешение в которой еще повысится. Сейчас – это 13 нм, а на новой машине они хотят получить 8-9 нм. Ради этой машины только один Zeiss (мировой технологический лидер в области оптики и оптоэлектроники) несколько заводов построил, чтобы делать оптику для нее. Масштабы фантастические», – объяснил Чхало.
По мнению специалиста, ASML смогла достичь лидирующей позиции в отрасли, так как вела разработку литографов открыто, привлекая к решению проблем специалистов со всего мира.
«Японские Canon и Nikon также пытались эту технологию развивать, но у них ничего не получилось. С моей точки зрения, одной из причин их неудачи является то, что ASML вела эту разработку абсолютно открыто. Компания все свои проблемы объявляла публично, устраивала очень часто открытые рабочие совещания и появлялись люди, которые заявляли: «Я могу решить эту проблему». Таким образом они отобрали лучших специалистов в мире, в числе которых были и физики из ИФМ РАН. А Япония все это делала в закрытом режиме», — объяснил Чхало.
О том, как давно в Россию запретили продавать передовое оборудование для печати микросхем, каковы перспективы развития отечественной литографии и сможем ли мы догнать лидеров направления – в интервью «Газеты.Ru».